測定装置
画像位置決め測定装置：IPMS38C
▶自動ステージの位置決め測定に特化した製品です。
▶専用ソフト、専用治具などにより、簡単に測定できます。レーザー測長のように屈折率の影響を受けず、かつ安全です。
▶同じ製品を複数台測定する場合、一度の初期計測で良いので、短時間で済みます。
▶ステージ面に置いた基準スケールを測定しますので、ステージ本来の精度測定ができます。
▶位置決め精度の範囲を設定しておけば合否判定、場所の特定ができます。
▶暖気運転はμm単位では必要ありません。
▶長年当社は位置決め特注システム製品を取り扱っていますので、測定対象ステージに応じた特注位置決めユニットや面積測定、粒子計測、寸法測定などの画像処理に関してもご相談させていただきます。
IPMS38C
●測定方法
自動ステージを移動させながら、ステージ面に置いた基準物の移動量を測定することにより、「位置決め精度」「繰り返し位置決め精度」「バックラシュ」を測定します。グレー処理を行うことにより、より正確な測定が可能です。
※日本規格協会発行 JIS B 61920-2（ISO230-2）の計算に基づき測定を行っています。
※基準スケールは基準器とのトレーサビリティ確認にご利用頂けるスケールです。
またこのスケールはリソグラフィ技術と高い評価技術で製作しています。
●製品構成
1.顕微鏡（照明及びCDDカメラも含む）
2.オートフォーカスユニット
3.位置決めユニット
4.計測用ソフトウエア
5.パソコン
6.防振台（お客様でお持ちの場合があるのでオプションとさせて頂きます）
●測定ステージ
1.直動ステージ
2.回転ステージ
3.上記ステージを組み付けた型での測定も可能
※ピエゾステージはストロークが1μm以下ですので測定できません。